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關于無塵室的基本概述 二維碼
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發表時間：2020-10-25 16:59 無塵室中不論外在之空氣條件怎么變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵室最主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制作，此空間我們稱之為無塵室。
按照世界慣例，無塵凈化等級主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于區分規范的粒子數量來規則。也便是說所謂無塵并非100%沒有一點塵埃，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個規范中符合塵埃規范的顆粒相關于我們常見的塵埃已經是小的微乎其微。 可是關于光學結構而言，哪怕是一點點的塵埃都會發生非常大的負面影響，所以在光學結構產品的生產上，無塵是必定的要求。如表所示，每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了世界無塵規范的A級。 應用在芯片級生產加工的無塵規范關于塵埃的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也便是業內俗稱的1K等級。 上一篇無塵室的類型都有哪些
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文章分類：
無塵室
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